資料剖析可分為三小氣面：資料結構的測定、資料形貌的觀察和資料成分的剖析。資料成分剖析主要是經過各項檢測手腕對樣品的成分停止定性定量的剖析。

以下引見幾種罕見的資料成分剖析方法：

1、化學剖析法：應用物質化學反響為基礎的剖析方法，稱為化學剖析法。每種物質都有其共同的化學特性，我們可以應用物質間的化學反響并將其以一種適當的方式停止表征，用以指示反響的進程，從而失掉資料中某些組分解分的含量；

2、原子光譜法：原子光譜是原子吸收或收回光子的強度關于光子能量（通常以波長表示）的圖譜，可以提供關于樣品化學組成的相關信息。原子光譜分為三大類：原子吸收光譜、原子發射光譜和原子熒光光譜；

3、X射線能量色散譜法（EDX）：EDX常與電子顯微鏡配合運用，它是測量電子與試樣相互作用所發生的特征X射線的波長與強度，從而對龐大區域所含元素停止定性或定量剖析。每種元素都有一個特定波長的特征X射線與之相對應，它不隨入射電子的能量而變化，測量電子激起試樣所發生的特征X射線波長的種類，即可確定試樣中所存在元素的種類。元素的含量與該元素發生的特征X射線強度成正比，據此可以測定元素的含量；

4、電子能譜剖析法：電子能譜剖析法是采用單色光源或電子束去照射樣品，使樣品中電子遭到激起而發射出來，然后測量這些電子的強度與能量的散布，從而取得資料信息。電子能譜的采樣深度僅為幾納米，所以它僅僅是外表成分的反響；

5、X射線衍射法（XRD）：XRD也可以輔佐用來停止物相的定量剖析。它的依據是，物相的衍射線強度隨著含量的添加而提高。但是并不成正比，需求加以修正，采用Jade順序就可以對物相停止定量剖析；

6、質譜法（MS）：它是將被測物質離子化，按離子的質荷比分別，測量各種離子譜峰的強度而完成剖析目的的一種剖析方法。質量是物質的固有特征之一，不同的物質有不同的質量譜（簡稱質譜），應用這一性質，可以停止定性剖析；譜峰強度也與它代表的化合物含量有關，可以用于定量剖析；

7、分光光度計法：分光光度計采用一個可以發生多個波長的光源，經過系列分光裝置，從而發生特定波長的光源，光線透過測試的樣品后，局部光線被吸收，計算樣品的吸光值，從而轉化成樣品的濃度，吸光值與樣品的濃度成正比。它包括可見分光光度計和紫外分光光度計；

8、火花直讀光譜儀：火花直讀光譜儀用電火花的高溫使樣品中各元素從固態直接氣化并被激起而發射出各元素的特征波長，用光柵分光后，成為按波長陳列的“光譜”，這些元素的特征光譜線經過出射狹縫，射入各自的光電倍增管，光信號變成電信號，經儀器的控制測量系統將電信號積分并停止模/數轉換，然后由計算機處置，并打印出各元素的百分含量。