GB/T 4937.1-2006 半導體器件機械和氣候試驗方法 第1部分：總則
GB/T 4937.12-2012 半導體器件機械和氣候試驗方法 第12部分：掃頻振動
GB/T 2423.10-2008電工電子產 品環境試驗第2部分：試驗方法試驗 Fc：振動（正弦）
IEC 60749-12 ：2002 半導體器件機械和氣候試驗方法 第12部分： 掃頻振動

半導體器件掃頻振動試驗目的是測定在規定頻率范圍內，振動對器件的影響，屬于破壞性試驗，通常用于有空腔的器件。
健明迪檢測環境可靠性實驗中心擁有各種半導體器件機械和氣候試驗設備，具備掃頻振動試驗能力，為半導體器件、設備提供專業的掃頻振動試驗服務。

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樣品應剛性地安裝在振動臺上，引出端和電纜也應安全固定，以避免引人額外的引線共振。應使樣品做簡諧振動，其振幅兩倍幅值為1.5 mm（峰-峰值） ，或其峰值加速度為200 m/s2 ，取較小者。 振動頻率在20 Hz~2 000 Hz范圍內近似對數變化。
從20 Hz~2 000 Hz再回到20 Hz的整個頻率范圍的振動時間不應少于4 min。在X、Y和Z 3個方向上各進行4次這樣的循環（共12次）。